Главная страница > Продукция> Смеси газа специальности> Бесцветные смеси газа специальности

Бесцветные смеси газа специальности

Основная информация

Место происхождения:	Китай
Фирменное наименование:	Newradar Gas
Сертификация:	ISO/DOT/GB
Номер модели:	N/A

Количество мин заказа:	1000 литров
Цена:	Подлежит обсуждению
Упаковывая детали:	10kg, 40kg или 50kg упакованное в квалифицированном баллоне или упакованное согласно требованиям
Время доставки:	15-25 рабочих дней позже получили вашу оплату
Условия оплаты:	L/C, T/T, западное соединение, MoneyGram
Поставка способности:	3,00 кубических метров в месяц

Лучшая цена Контакт

Подробная информация

Cas нет.:	7439-90-9	ООН нет:	1982
Очищенность::	99,999%	Пакет::	безшовные стальные цилиндры
Другие имена:	Смесь tetrafluoride углерода кислорода	Возникновение::	Бесцветный газ
Том цилиндров::	10L, 25L, 40L или 50L	Стандарт ранга:	Ранг ранга электрона
токсический:	Нетоксический	Применение:	процесс литографированием 248nm и смешанный с галоидом используя смешанные газы
Выделить:	газы специальности продуктов воздуха , газы специальности liquide воздуха

Характер продукции

Кислород смесей 20% газа специальности с O2им tetrafluoride CF4 Mixted углерода для вытравляет polysilicon, и двуокись кремния

Описание:

Смеси газа специальности

Tetrafluoride углерода источник свободных радикалов фторида фтора или углерода используемых в разнообразие etchprocesses вафли. Tetrafluoride углерода использован с кислородом для того чтобы вытравить polysilicon, двуокись кремния, и нитрид кремния.

Tetrafluoride углерода относительно инертен в нормальных условиях и asphyxiant. Под условиями плазмы RF, свободные радикалы фтора типично в форме CF3

или CF2. Результаты CarbonTetrafluoride более высокой очищенности в главном контроле процесса, который приводит в более лучшем управлении габаритных и профиля.

Другие halocarbons, так же, как присутсвие воздуха или кислорода, пагубны для контроля неравносвойственного вытравляют.

Спецификации:

1. Физические свойства

Главные компоненты
КОМПОНЕНТЫ	КОНЦЕНТРАЦИЯ	РЯД
O2ий	20%	19.9-20.1%
CF4	Баланс

2. типичные технические данные (COA)

Максимальные примеси
КОМПОНЕНТЫ	КОНЦЕНТРАЦИЯ (ppm)
Углекислый газ (СО2)	<1>
Окись углерода (CO)	<1>
Влага (H2O)	<0>
Азот (N2)	<10>
Кислород (O2ие)	<5>
THC (как метан) (CH4)	<0>
Другие Halocarbons	<1>
Гексафторид серы	<1>

Цилиндр Specifications*			Содержание	Давление
Цилиндр	Варианты выхода клапана		Фунты	PSIG	АДВОКАТУРА
2	CGA 580	DISS 716	70	2000	139

Бесцветные смеси газа специальности 0

Применения:

Tetrafluoromethane иногда использовано как хладоагент низкой температуры.

Оно использовано в microfabrication электроники самостоятельно или в комбинации с кислородом как плазма etchant для кремния, двуокиси кремния, и нитрида кремния.

Оно также имеет применение в детекторах нейтрона

тег:

Бесцветные смеси газа специальности

газы специальности продуктов воздуха

газы специальности liquide воздуха

особенные газы,

газы специальности liquide воздуха,

газы специальности продуктов воздуха

Бесцветные смеси газа специальности

Газы лазера Excimer особенные

Смеси газа специальности CO SF6

Процесс литографированием смесей 248nm газа специальности криптона неоновый

Ранг электрона CAS 7440-59-7 смесей газа специальности аргона неоновая

Оптом чистая цена газообразного гелия 99,999% он

Газ тарировки обнаружения безопасности дорожного движения смеси Китая

25 смесей газа специальности газа тарировки азота баланса сероводорода PPM