Химия газов Hexafluorobutadiene C4F6 электронная для критического диэлектрика вытравляет

Химия газа Hexafluorobutadiene C4F6 для критического диэлектрика вытравляет применения.

Описание:

C4F6 unsaturated перфторуглеводород с чередуя двойной связью. Бесцветный, непахучий, токсический, огнеопасный газ показывая очень высокую эффективность для плазмы, луча иона, или брызгайте вытравливание в полупроводниковых устройствах изготовляя с ксеноном (Xe) и аргоном (Ar) как несущая или газ разбавления. Должный к короткой атмосферической продолжительности жизни (< 1day="">

Butadine ‐ Hexafluoro1,3 токсический, бесцветный, непахучий, огнеопасный разжиженный сжатый газ.

Газ C4F6 как etchant газ для высокого вытравливания отверстия контакта коэффициента сжатия может быть хорошим

альтернатива к газам PFC.

СТАБИЛЬНОСТЬ И РЕАКТИВНОСТЬ

Применения:

1. Газ HFB (C4F6) может использовать как агенты чистки, отход-газ обрабатывая скрубберы

2. Компоненты газа Hexafluoro-2-butyne для коммуникационного оборудования стекловолокна.

3. Оно поэтому непременный для системы обработки LSIs и высокоскоростных, крупнотоннажных запоминающих устройств которая все больше и больше использованы в цифровых электрических приборах и жидкокристаллических дисплеях.