CAS нет:: | 685-63-2 | Другие имена:: | 1,1,2,3,4,4-hexafluorbuta-1,3-dieen |
---|---|---|---|
Класс опасности: | 2.3 | Место происхождения:: | Хубэй |
Очищенность:: | 99,95% | Применение:: | основанная на Перфторуглеводород плазма вытравляя |
Пакет:: | безшовные стальные цилиндры | Том цилиндров:: | 926L |
Высокий свет: | Электрический газ,очищенность плюс газы специальности |
C4F6 газ, Hexafluoro-1,3-butadiene для химической лаборатории исследования
Описание:
Butadine ‐ Hexafluoro1,3 токсический, бесцветный, непахучий, огнеопасный разжиженный сжатый газ.
Газ C4F6 как etchant газ для высокого вытравливания отверстия контакта коэффициента сжатия может быть хорошим
альтернатива к газам PFC.
газ сухой вытравлять hexafluoro-1,3-butadiene (C4F6) он начинало в России. C4F6 включает сухое вытравливание на линии ширине как узкой как 90 nm или более менее. Оно поэтому непременн для системы обработки LSIs и высокоскоростных, крупнотоннажных запоминающих устройств которая все больше и больше использованы в цифровых электрических приборах и жидкокристаллических дисплеях.
Газы перфторуглеводорода широко использованы для обработки фильма окиси кремния. Сравненный с octafluorocyclobutane (C4F8) в настоящее время используемым для обработки на линии ширине 130 nm, C4F6 имеет следующие преимущества:
низкая экологическая нагрузка 1.Very по мере того как оно разложено в меньше чем 2 днях в атмосфере (сравненной с 3 200 летами для C4F8)
2.Therefore, полезное как альтернатива к perfluorocarbons с высоким потенциалом глобального потепления.
коэффициент сжатия 3.High, приводящ в узких и глубоких пазах (соответствующих для обработки на очень узкой линии ширине).
селективность 4.High (обеспечивает вытравливание фильма окиси кремния только; не влияет на фоторезист, субстрат кремния или фильм нитрида)
МЕДИЦИНСКИЙ ОСМОТР И ХИМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
ВОЗНИКНОВЕНИЕ И ЗАПАХ | ГАЗ @ 25 °C И 760 mmHg. |
ТОЧКА ПЛАВЛЕНИЯ: | °C -132,1 |
ТЕМПЕРАТУРА КИПЕНИЯ | °C 6 -7 @ 760 mmHg |
ДАВЛЕНИЕ ПАРА: | 25 °C psia @ 20 |
ПЛОТНОСТЬ: | 1,553 g/mL @ °C -20 |
R.I.: | °C 1,378 @ -20 |
СТАНДАРТНЫЙ ПАКЕТ INFORMATION-ASIA И СЕВЕРНАЯ АМЕРИКА
Размер контейнера | сталь 44L | сталь 8L |
Весы заполнения (килограммы) | 45 | 5 |
Клапан ConnecƟon | PneumaƟc DISS 724 | Ручное DISS 724 |
Размеры цилиндра (внутри) | 9x51 | 7x19 |
Применения:
1. Он может использовать в основанном на фтор вытравливании.
2. C4F6 может использовать как металлоорганический фильм формируя газы.