products

C4F6 газы газа Hexafluoro-1,3-Butadiene электронные для химической лаборатории исследования

Основная информация
Место происхождения: Китай
Фирменное наименование: Accept OEM
Сертификация: ISO9001
Номер модели: Никакой
Количество мин заказа: 30KGS
Цена: negotiation
Упаковывая детали: 30lb - пакет цилиндра 926L
Время доставки: 6-10 дней
Поставка способности: 50Ton
Подробная информация
CAS нет:: 685-63-2 Другие имена:: 1,1,2,3,4,4-hexafluorbuta-1,3-dieen
Класс опасности: 2.3 Место происхождения:: Хубэй
Очищенность:: 99,95% Применение:: основанная на Перфторуглеводород плазма вытравляя  
Пакет:: безшовные стальные цилиндры Том цилиндров:: 926L
Высокий свет:

Электрический газ

,

очищенность плюс газы специальности


Характер продукции

C4F6 газ, Hexafluoro-1,3-butadiene для химической лаборатории исследования

 

Описание:

 

Butadine ‐ Hexafluoro1,3 токсический, бесцветный, непахучий, огнеопасный разжиженный сжатый газ.

 

Газ C4F6 как etchant газ для высокого вытравливания отверстия контакта коэффициента сжатия может быть хорошим

альтернатива к газам PFC.

 

газ сухой вытравлять hexafluoro-1,3-butadiene (C4F6) он начинало в России. C4F6 включает сухое вытравливание на линии ширине как узкой как 90 nm или более менее. Оно поэтому непременн для системы обработки LSIs и высокоскоростных, крупнотоннажных запоминающих устройств которая все больше и больше использованы в цифровых электрических приборах и жидкокристаллических дисплеях.

 

Газы перфторуглеводорода широко использованы для обработки фильма окиси кремния. Сравненный с octafluorocyclobutane (C4F8) в настоящее время используемым для обработки на линии ширине 130 nm, C4F6 имеет следующие преимущества:

 

низкая экологическая нагрузка 1.Very по мере того как оно разложено в меньше чем 2 днях в атмосфере (сравненной с 3 200 летами для C4F8)

 

2.Therefore, полезное как альтернатива к perfluorocarbons с высоким потенциалом глобального потепления.

 

коэффициент сжатия 3.High, приводящ в узких и глубоких пазах (соответствующих для обработки на очень узкой линии ширине).

 

селективность 4.High (обеспечивает вытравливание фильма окиси кремния только; не влияет на фоторезист, субстрат кремния или фильм нитрида)

C4F6 газы газа Hexafluoro-1,3-Butadiene электронные для химической лаборатории исследования 0

МЕДИЦИНСКИЙ ОСМОТР И ХИМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА

ВОЗНИКНОВЕНИЕ И ЗАПАХ ГАЗ @ 25 °C И 760 mmHg.
ТОЧКА ПЛАВЛЕНИЯ: °C -132,1
ТЕМПЕРАТУРА КИПЕНИЯ °C 6 -7 @ 760 mmHg
ДАВЛЕНИЕ ПАРА: 25 °C psia @ 20
ПЛОТНОСТЬ: 1,553 g/mL @ °C -20
R.I.: °C 1,378 @ -20

 

СТАНДАРТНЫЙ ПАКЕТ INFORMATION-ASIA И СЕВЕРНАЯ АМЕРИКА

Размер контейнера сталь 44L сталь 8L
Весы заполнения (килограммы) 45 5
Клапан ConnecƟon PneumaƟc DISS 724 Ручное DISS 724
Размеры цилиндра (внутри) 9x51 7x19

 

 

Применения:

1. Он может использовать в основанном на фтор вытравливании.

2. C4F6 может использовать как металлоорганический фильм формируя газы.

 

 

 

Контактная информация
Vicky Liu

Номер телефона : 86-27-82653381

WhatsApp : +8613667126861