Место происхождения: | Китай |
---|---|
Фирменное наименование: | Newradar Gas |
Сертификация: | ISO/DOT/GB |
Номер модели: | N/A |
Количество мин заказа: | ПК 1 |
Цена: | negotiable |
Упаковывая детали: | Упакованный в цилиндре 10L-500L или упакованный согласно требованиям. |
Время доставки: | 10-20 рабочих дней позже получили вашу оплату |
Условия оплаты: | L/C, T/T, западное соединение, MoneyGram |
Поставка способности: | PCS 1000 в месяц |
название продукта: | Трифторид азота | ПЛОТНОСТЬ: | 3,003 kg/m3 (1 atm, °C 15) |
---|---|---|---|
Запах: | Moldy | Возникновение:: | Бесцветный газ |
Применение: | Вытравливание плазмы кремниевых пластин | Einecs нет.: | 232-007-1 |
Точка плавления: | °C −207.15 | Температура кипения: | °C −129.06 |
Выделить: | электронный газ,очищенность плюс газы специальности |
Трифторид NF3, 99.99~99.999% азота, используемые в вытравливании плазмы кремниевых пластин
Описание:
Трифторид азота (NF3) новый особенный газ для электронной промышленности как очищая газ для чистки и вытравливания плазмы, широко используемый в TFT-LCD, полупроводнике и солнечной индустрии etc. фотоэлектричества, имеющ преимущества никаких remaing, высокие очищая скорости и легкий для того чтобы разложить.
Основанный на возмужало электролизе и технологии производства фторидов, через непрерывное НИОКР на несколько лет, компания достигала нескольких технология produion выдвинулась в мире. В виду того что 2009 LRICI стабилизированы поставщик с высокой репутацией газа продуктов NF3 электронн-степени к отечественным клиентам и клиентам от Японии, Тайваня, Южная Корея Etc. Компания теперь имеет емкость 1000 t/a и может побуждать спецификации чем 99,999%, продукция uce даже более NF3 непрерывно и стабилизированно.
Спецификации:
1. Физические свойства
Название продукта | Трифторид азота |
Валовая формула | NF3 |
ООН нет. | ООН 2451 |
CAS нет. | 7783-54-2 |
EINECS нет. | 232-007-1 |
2. типичные технические данные
Примеси | NF3≥99.995% Vol.% | NF3≥99.99% Vol.% | NF3≥99.98% Vol.% | NF3≥99.9% Vol.% |
CF4 | ≤20 Vol.ppm | ≤40 Vol.ppm | ≤100 Vol.ppm | ≤500 Vol.ppm |
N2 | ≤5 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤50 Vol.ppm |
O2+Ar | ≤3 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤50 Vol.ppm |
СО2 | ≤1 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm |
H2O | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm |
HF | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm |
SF6 | ≤1 Vol.ppm | ≤2 Vol.ppm | ≤2 Vol.ppm | ≤25 Vol.ppm |
N2O | ≤1 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm |
CO | ≤0.5 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm |
3. Пакет
Цилиндр тонны цилиндров 3AA/GB5099 ТОЧКИ безшовный стальной
Данные по цилиндров | Индивидуальный цилиндр (47L) | Пачка | Цилиндр y | Трубка ISO |
Материал | Сталь Mn (316L) | Сталь Cr-Mo | ||
Тип соединения клапана | CGA 330 CGS/DISS 640 | DISS 640 etc | ||
Тип | DOT-3AA GB5099 | 47L*16/47L*25 | 20ft: 40ft | |
Давление | 9-13Mpa | |||
Заполняя вес | 20/22.7kg | 195/200 |
Применения:
Трифторид азота (NF3) широко был использован в электронной промышленности, полупроводнике и солнечной индустрии etc. фотоэлектричества хорошее вытравливание и очищая газ с преимуществами никакой оставаться, высокой очищая скорости и легкий для того чтобы разложить.