| Место происхождения: | Китай |
|---|---|
| Фирменное наименование: | Newradar Gas |
| Сертификация: | ISO/DOT/GB |
| Номер модели: | N/A |
| Количество мин заказа: | ПК 1 |
| Цена: | Подлежит обсуждению |
| Упаковывая детали: | Упакованный в цилиндре 10L-500L или упакованный согласно требованиям. |
| Время доставки: | 10-20 рабочих дней позже получили вашу оплату |
| Условия оплаты: | L/C, T/T, западное соединение, MoneyGram |
| Поставка способности: | PCS 1000 в месяц |
| название продукта: | Трифторид азота | ПЛОТНОСТЬ: | 3,003 kg/m3 (1 atm, °C 15) |
|---|---|---|---|
| Запах: | Moldy | Возникновение:: | Бесцветный газ |
| Применение: | Вытравливание плазмы кремниевых пластин | Einecs нет.: | 232-007-1 |
| Точка плавления: | °C −207.15 | Температура кипения: | °C −129.06 |
| Выделить: | электронный газ,очищенность плюс газы специальности |
||
Трифторид NF3, 99.99~99.999% азота, используемые в вытравливании плазмы кремниевых пластин
Описание:
Трифторид азота (NF3) новый особенный газ для электронной промышленности как очищая газ для чистки и вытравливания плазмы, широко используемый в TFT-LCD, полупроводнике и солнечной индустрии etc. фотоэлектричества, имеющ преимущества никаких remaing, высокие очищая скорости и легкий для того чтобы разложить.
Основанный на возмужало электролизе и технологии производства фторидов, через непрерывное НИОКР на несколько лет, компания достигала нескольких технология produion выдвинулась в мире. В виду того что 2009 LRICI стабилизированы поставщик с высокой репутацией газа продуктов NF3 электронн-степени к отечественным клиентам и клиентам от Японии, Тайваня, Южная Корея Etc. Компания теперь имеет емкость 1000 t/a и может побуждать спецификации чем 99,999%, продукция uce даже более NF3 непрерывно и стабилизированно.
Спецификации:
1. Физические свойства
| Название продукта | Трифторид азота |
| Валовая формула | NF3 |
| ООН нет. | ООН 2451 |
| CAS нет. | 7783-54-2 |
| EINECS нет. | 232-007-1 |
2. типичные технические данные
| Примеси | NF3≥99.995% Vol.% | NF3≥99.99% Vol.% | NF3≥99.98% Vol.% | NF3≥99.9% Vol.% |
| CF4 | ≤20 Vol.ppm | ≤40 Vol.ppm | ≤100 Vol.ppm | ≤500 Vol.ppm |
| N2 | ≤5 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤50 Vol.ppm |
| O2+Ar | ≤3 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤50 Vol.ppm |
| СО2 | ≤1 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm |
| H2O | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm |
| HF | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm |
| SF6 | ≤1 Vol.ppm | ≤2 Vol.ppm | ≤2 Vol.ppm | ≤25 Vol.ppm |
| N2O | ≤1 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm |
| CO | ≤0.5 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm |
3. Пакет
Цилиндр тонны цилиндров 3AA/GB5099 ТОЧКИ безшовный стальной
| Данные по цилиндров | Индивидуальный цилиндр (47L) | Пачка | Цилиндр y | Трубка ISO |
| Материал | Сталь Mn (316L) | Сталь Cr-Mo | ||
| Тип соединения клапана | CGA 330 CGS/DISS 640 | DISS 640 etc | ||
| Тип | DOT-3AA GB5099 | 47L*16/47L*25 | 20ft: 40ft | |
| Давление | 9-13Mpa | |||
| Заполняя вес | 20/22.7kg | 195/200 |
Применения:
Трифторид азота (NF3) широко был использован в электронной промышленности, полупроводнике и солнечной индустрии etc. фотоэлектричества хорошее вытравливание и очищая газ с преимуществами никакой оставаться, высокой очищая скорости и легкий для того чтобы разложить.