Газы очищенности NF3 99.99~99.999% бесцветные электронные с Moldy запахом, температурой кипения °C −129.06

NF3, жидкостный газ, трифторид азота, 99.99~99.999%, используемое в электронной промышленности

Описание:

Трифторид азота (NF3) бесцветный и стабилизированный газ под внешними условиями. Газ негорюч но может поддержать сгорание. Когда температура над 350℃, газ разложит медленно для произведения фтора сильной оксидации и поэтому, это сильный оксидант на высокой температуре.

Приводя атомы фтора активные очищая агенты которые атакуют polysilicon, нитрид кремния и окись кремния. Трифторид азота можно использовать также с силицидом вольфрама, и вольфрамом произведенным CVD.

NF3 было рассмотрено как экологически предпочтительная замена для гексафторида серы или perfluorocarbons как hexafluoroethane. Отростчатое использование химикатов приложенных в процессах плазмы типично под 20%. Поэтому некоторое из PFCs и также некоторое из всегда избежания NF3 в атмосферу. Современные системы abatement газа могут уменьшить такие излучения.

Спецификации:

1. Физические свойства

2. типичные технические данные

3. Пакет

Цилиндр тонны цилиндров 3AA/GB5099 ТОЧКИ безшовный стальной

Применения:

Трифторид азота (NF3) широко был использован в электронной промышленности, полупроводнике и солнечной индустрии etc. фотоэлектричества хорошее вытравливание и очищая газ с преимуществами никакой оставаться, высокой очищая скорости и легкий для того чтобы разложить.