Место происхождения: | Китай |
---|---|
Фирменное наименование: | Newradar Gas |
Сертификация: | ISO/DOT/GB |
Номер модели: | N/A |
Количество мин заказа: | ПК 1 |
Цена: | negotiable |
Упаковывая детали: | Упакованный в цилиндре 10L-500L или упакованный согласно требованиям. |
Время доставки: | 10-20 рабочих дней позже получили вашу оплату |
Условия оплаты: | L/C, T/T, западное соединение, MoneyGram |
Поставка способности: | PCS 1000 в месяц |
название продукта: | Трифторид азота | Очищенность: | 99,99% до 99,999% |
---|---|---|---|
Молярная масса: | 71,00 g/mol | Возникновение: | Бесцветный газ |
CAS нет.: | 7783-54-2 | Einecs нет.: | 232-007-1 |
Точка плавления: | °C −207.15 | Температура кипения: | °C −129.06 |
Выделить: | Электрический газ,электронный газ |
NF3, жидкостный газ, трифторид азота, 99.99~99.999%, упакованное в 10L к цилиндрам 500L
Описание:
Трифторид азота неорганическая смесь с формулой NF3. Эта смесь азот-фтора бесцветный, непахучий, nonflammable газ. Она находит увеличивая польза как etchant в микроэлектрониках.
Трифторид азота неорганическая смесь с формулой NF3. Эта смесь азот-фтора бесцветный, непахучий, nonflammable газ. Она находит увеличивая польза как etchant в микроэлектрониках.
Трифторид азота использован в вытравливании плазмы кремниевых пластин. Сегодня трифторид азота большей частью использован в чистке камер PECVD в высокообъемной продукции жидкокристаллических дисплеев и основанных на кремни тонкопленочных фотоэлементов. В этих применениях NF3 первоначально сломано вниз на месте плазмой.
Спецификации:
1. Физические свойства
Название продукта | Трифторид азота |
Валовая формула | NF3 |
ООН нет. | ООН 2451 |
CAS нет. | 7783-54-2 |
EINECS нет. | 232-007-1 |
2. типичные технические данные
Деталь | Блок | Индексируйте | |
NF3 | ≥ Vol.% | 99,995 | 99,99 |
CF4 | ≤ Vol.% | ≤20 | ≤40 |
N2 | ≤ Vol.% | ≤5 | ≤10 |
O2+Ar | ≤ Vol.% | ≤3 | ≤5 |
CO | ≤ Vol.% | ≤1 | ≤5 |
СО2 | ≤ Vol.% | ≤1 | ≤5 |
N2O | ≤ Vol.% | ≤1 | ≤5 |
SF6 | ≤ Vol.% | ≤2 | ≤5 |
H2O | ≤ Vol.% | ≤3 | ≤1 |
3. Пакет
Цилиндр тонны цилиндров 3AA/GB5099 ТОЧКИ безшовный стальной
Применения:
Трифторид азота (NF3) широко был использован в электронной промышленности, полупроводнике и солнечной индустрии etc. фотоэлектричества хорошее вытравливание и очищая газ с преимуществами никакой оставаться, высокой очищая скорости и легкий для того чтобы разложить.