Изготовленный на заказ лазер Excimer наполняет газом лазер фторида аргона для литографирования 193nm

Изготовленный на заказ лазер Excimer наполняет газом лазер фторида аргона для литографирования 193nm

Описание:

Смеси фторида аргона использованы в 193 применениях литографированием nm, обычно совместно со смесью инертного газа.

Лазер фторида аргона особый тип лазера excimer, который иногда вызван лазером exciplex. Со своей длиной волны 193 нанометров, глубоко ультрафиолетов лазер, который обыкновенно использован в продукции интегральных схема полупроводника, хирургии глаза, micromachining, и научное исследование. Excimer термине короток для «возбужденного димера», пока exciplex коротко для «возбужденного комплекса». Лазер excimer типично использует смесь благородного газа и газ галоида, который под соответствующие условия электрического стимулирования и высокого давления, испускает когерентное стимулированное излучение в ультрафиолетов ряде.

Лазеры excimer ArF широко использованы в машинах фотолитографии высоко-разрешения, одной из критических технологий необходимы для микроэлектронного производства обломока. Литографирование лазера Excimer позволяло размеры особенности транзистора сжать от 800 нанометров в 1990 до 22 нанометрах в 2012.

Спецификации:

1. Физические свойства

2. типичные технические данные (COA)

3. Пакет

Применения:

Смеси фторида аргона использованы в 193 применениях литографированием nm, обычно совместно со смесью инертного газа.