products

Кислород 1982 смесей 20% газа специальности ООН с Tetrafluoride углерода

Основная информация
Место происхождения: Китай
Фирменное наименование: newradar / accept OME
Сертификация: ISO/DOT/GB
Номер модели: N/A
Количество мин заказа: 1000 литров
Цена: negotiation
Упаковывая детали: 10kg, 40kg или 50kg упакованное в квалифицированном баллоне или упакованное согласно требованиям
Время доставки: 15-25 рабочих дней позже получили вашу оплату
Условия оплаты: L/C, T/T, западное соединение, MoneyGram
Поставка способности: 3,00 кубических метров в месяц
Подробная информация
Применение: процесс литографированием 248nm и смешанный с галоидом используя смешанные газы CAS нет.: 7439-90-9
ООН никакая: 1982 Очищенность:: 99,999%
Пакет:: безшовные стальные цилиндры Другие имена: Смесь tetrafluoride углерода кислорода
Возникновение:: Бесцветный газ Том цилиндров:: 10L, 25L, 40L или 50L
Стандарт ранга: Ранг ранга электрона Токсический: Нетоксический
Высокий свет:

газы специальности продуктов воздуха

,

газы специальности liquide воздуха


Характер продукции

Кислород 1982 смесей 20% газа специальности ООН с Tetrafluoride углерода

 

 

Описание:

 

Смеси газа специальности

 

Tetrafluoride углерода источник свободных радикалов фторида фтора или углерода используемых в разнообразие etchprocesses вафли. Tetrafluoride углерода использован с кислородом для того чтобы вытравить polysilicon, двуокись кремния, и нитрид кремния.

 

Tetrafluoride углерода относительно инертен в нормальных условиях и asphyxiant. Под условиями плазмы RF, свободные радикалы фтора типично в форме CF3

или CF2. Результаты CarbonTetrafluoride более высокой очищенности в главном контроле процесса, который приводит в более лучшем управлении габаритных и профиля.

 

Другие halocarbons, так же, как присутсвие воздуха или кислорода, пагубны для контроля неравносвойственного вытравляют.

 

 

Спецификации:

 

1. Физические свойства

 

Главные компоненты
КОМПОНЕНТЫ КОНЦЕНТРАЦИЯ РЯД
O2ий 20% 19.9-20.1%
CF4 Баланс  

 

 

 

 

 

 

2. типичные технические данные (COA)

 

Максимальные примеси
КОМПОНЕНТЫ КОНЦЕНТРАЦИЯ (ppm)
Углекислый газ (СО2) <1>
Окись углерода (CO) <1>
Влага (H2O) <0>
Азот (N2) <10>
Кислород (O2ие) <5>
THC (как метан) (CH4) <0>
Другие Halocarbons <1>
Гексафторид серы <1>

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Цилиндр Specifications* Содержание Давление
Цилиндр Варианты выхода клапана Фунты PSIG АДВОКАТУРА
2 CGA 580 DISS 716 70 2000 139

 

 

 

 

Кислород 1982 смесей 20% газа специальности ООН с Tetrafluoride углерода 0

Применения:

 

1

 Tetrafluoromethane иногда использовано как хладоагент низкой температуры.

 

2

 Оно использовано в microfabrication электроники самостоятельно или в комбинации с кислородом как плазма etchant для кремния, двуокиси кремния, и нитрида кремния.

 

3

 Оно также имеет применение в детекторах нейтрона

 

 

Контактная информация
Vicky Liu

Номер телефона : 86-27-82653381

WhatsApp : +8613667126861