Место происхождения: | Китай |
---|---|
Фирменное наименование: | newradar / accept OME |
Сертификация: | ISO/DOT/GB |
Номер модели: | N/A |
Количество мин заказа: | 1000 литров |
Цена: | negotiation |
Упаковывая детали: | 10kg, 40kg или 50kg упакованное в квалифицированном баллоне или упакованное согласно требованиям |
Время доставки: | 15-25 рабочих дней позже получили вашу оплату |
Условия оплаты: | L/C, T/T, западное соединение, MoneyGram |
Поставка способности: | 3,00 кубических метров в месяц |
CAS нет.: | 7439-90-9 | ООН никакая: | 1982 |
---|---|---|---|
Очищенность:: | 99,999% | Пакет:: | безшовные стальные цилиндры |
Другие имена: | Смесь tetrafluoride углерода кислорода | Возникновение:: | Бесцветный газ |
Том цилиндров:: | 10L, 25L, 40L или 50L | Стандарт ранга: | Ранг ранга электрона |
Токсический: | Нетоксический | Применение: | процесс литографированием 248nm и смешанный с галоидом используя смешанные газы |
Высокий свет: | газы специальности продуктов воздуха,газы специальности liquide воздуха |
Кислород смесей 20% газа специальности с O2им tetrafluoride CF4 Mixted углерода для вытравляет polysilicon, и двуокись кремния
Описание:
Смеси газа специальности
Tetrafluoride углерода источник свободных радикалов фторида фтора или углерода используемых в разнообразие etchprocesses вафли. Tetrafluoride углерода использован с кислородом для того чтобы вытравить polysilicon, двуокись кремния, и нитрид кремния.
Tetrafluoride углерода относительно инертен в нормальных условиях и asphyxiant. Под условиями плазмы RF, свободные радикалы фтора типично в форме CF3
или CF2. Результаты CarbonTetrafluoride более высокой очищенности в главном контроле процесса, который приводит в более лучшем управлении габаритных и профиля.
Другие halocarbons, так же, как присутсвие воздуха или кислорода, пагубны для контроля неравносвойственного вытравляют.
Спецификации:
1. Физические свойства
Главные компоненты | ||
КОМПОНЕНТЫ | КОНЦЕНТРАЦИЯ | РЯД |
O2ий | 20% | 19.9-20.1% |
CF4 | Баланс |
2. типичные технические данные (COA)
Максимальные примеси | |
КОМПОНЕНТЫ | КОНЦЕНТРАЦИЯ (ppm) |
Углекислый газ (СО2) | <1> |
Окись углерода (CO) | <1> |
Влага (H2O) | <0> |
Азот (N2) | <10> |
Кислород (O2ие) | <5> |
THC (как метан) (CH4) | <0> |
Другие Halocarbons | <1> |
Гексафторид серы | <1> |
Цилиндр Specifications* | Содержание | Давление | |||
Цилиндр | Варианты выхода клапана | Фунты | PSIG | АДВОКАТУРА | |
2 | CGA 580 | DISS 716 | 70 | 2000 | 139 |
Применения:
1 |
Tetrafluoromethane иногда использовано как хладоагент низкой температуры.
|
2 |
Оно использовано в microfabrication электроники самостоятельно или в комбинации с кислородом как плазма etchant для кремния, двуокиси кремния, и нитрида кремния.
|
3 |
Оно также имеет применение в детекторах нейтрона
|