Главная страница > Продукция> Смеси газа специальности> Газа UHP кислород смесей газа специальности O2ий и CF4 с изготовителем смеси Tetrafluoromethane

Газа UHP кислород смесей газа специальности O2ий и CF4 с изготовителем смеси Tetrafluoromethane

UHP Gas O2 And CF4 Specialty Gas Mixtures Oxygen With Tetrafluoromethane Mixture Manufacturer

Основная информация

Место происхождения:	Китай
Фирменное наименование:	newradar / accept OME
Сертификация:	ISO/DOT/GB
Номер модели:	N/A

Количество мин заказа:	1000 литров
Цена:	negotiation
Упаковывая детали:	10kg, 40kg или 50kg упакованное в квалифицированном баллоне или упакованное согласно требованиям
Время доставки:	15-25 рабочих дней позже получили вашу оплату
Условия оплаты:	L/C, T/T, западное соединение, MoneyGram
Поставка способности:	3,00 кубических метров в месяц

Лучшая цена Контакт

Подробная информация

Применение:	процесс литографированием 248nm и смешанный с галоидом используя смешанные газы	CF4:	tetrafluoromethane
ООН никакая:	1982	Кислород:	O2ий
Пакет::	безшовные стальные цилиндры	Другие имена:	Смесь tetrafluoride углерода кислорода
Возникновение::	Бесцветный газ	Том цилиндров::	10L, 25L, 40L или 50L
Стандарт ранга:	Ранг ранга электрона	Токсический:	Нетоксический
Высокий свет:	газы специальности liquide воздуха , особенные газы

Характер продукции

Газа UHP кислород смесей газа специальности O2ий и CF4 с изготовителем смеси Tetrafluoromethane

Описание:

Неравносвойственное etch.control. Другие halocarbons, так же, как присутсвие воздуха или кислорода, пагубны для контроля результатов theTetrafluoride в главном контроле процесса, который приводит в лучшее габаритном и профиле. Более высокая очищенность Carbonor CF2conditions, свободные радикалы фтора типично в форме Tetrafluoride CF3Carbon относительно инертна в нормальных условиях и asphyxiant. Под plasmaprocesses RF. Tetrafluoride углерода использован с кислородом для того чтобы вытравить polysilicon, двуокись кремния, и нитрид кремния. Tetrafluoride углерода источник фтора или свободные радикалы фторида углерода используемые в разнообразие вафле вытравляют

Спецификации:

1. Физические свойства

Главные компоненты
КОМПОНЕНТЫ	КОНЦЕНТРАЦИЯ	РЯД
O2ий	20%	19.9-20.1%
CF4	Баланс

2. типичные технические данные (COA)

Максимальные примеси
КОМПОНЕНТЫ	КОНЦЕНТРАЦИЯ (ppm)
Углекислый газ (СО2)	<1>
Окись углерода (CO)	<1>
Влага (H2O)	<0>
Азот (N2)	<10>
Кислород (O2ие)	<5>
THC (как метан) (CH4)	<0>
Другие Halocarbons	<1>
Гексафторид серы	<1>

Цилиндр Specifications*			Содержание	Давление
Цилиндр	Варианты выхода клапана		Фунты	PSIG	АДВОКАТУРА
2	CGA 580	DISS 716	70	2000	139

Применения:

Tetrafluoromethane иногда использовано как хладоагент низкой температуры.

Оно использовано в microfabrication электроники самостоятельно или в комбинации с кислородом как плазма etchant для кремния, двуокиси кремния, и нитрида кремния.

Оно также имеет применение в детекторах нейтрона

тег:

Газа UHP кислород смесей газа специальности O2ий и CF4 с изготовителем смеси Tetrafluoromethane

газы специальности liquide воздуха

особенные газы

особенные газы,

газы специальности liquide воздуха,

газы специальности продуктов воздуха

Смеси газа специальности CO SF6

Газы лазера Excimer особенные

Бесцветные смеси газа специальности

Криптон смесей газа специальности Monatomic непахучий и неоновый лазер фторида

Редкие смеси газа специальности неона и криптона, очищенность газа Monatomic 99,999%

Непахучая электрическая индустрия 1L CO SF6 смесей газа электрическая - цилиндры 50L

Смесь упакованная в 40L, газа CO SF6 особой чистоты цилиндры 50L

Промышленный газ трейсера CO SF6, электрические смеси газа бесцветные