Бесцветный C4F6 электронный газ Hexafluoro-1,3-Butadiene цилиндра очищенности газов 44L 99,95%

C4F6 вытравляя газ для обработки полупроводника

Описание:

C4F6 (Hexafluoro-1,3-butadiene) использовано для диэлектрика вытравляет применения. Hexafluoro-1,3-butadiene токсический, бесцветный, непахучий, огнеопасный разжиженный сжатый газ.

Пакет: 44~49L цилиндр, клапан CGA350 SS

Заполняя содержание: 20kg/cyl

C4F6, экологически дружелюбный, высокопроизводительный газ специальности изготовления полупроводника это
обеспечивает максимум вытравите тарифы, хорошее управление коэффициента сжатия и высокую селективность к
фоторезист в критическом диэлектрике вытравляет применения.

Газ C4F6 улучшает диэлектрик вытравляет результаты процесса в много ключевых зон обработки, включая медные двойные дамасскские применения и низкие материалы k диэлектрические для 0,13 микронов и за дизайнами микросхемы. Sifren 46 также обеспечивает экологические преимущества в низких излучениях глобального потепления и нул
потенциал расхода озона.

МЕДИЦИНСКИЙ ОСМОТР И ХИМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА

СТАНДАРТНЫЙ ПАКЕТ INFORMATION-ASIA И СЕВЕРНАЯ АМЕРИКА

Применения:

1. процессы вытравливания плазмы для приборов микрона Подводн-квартала.

2. плазмы газа Perfluorocarbon альтернативные

3. Использованный в TFT-LCDs и photovoltaics.